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China starts production of home-grown immersion DUV chipmaking tools - source
新加坡，7 月 28 日（路透）——一位知情人士表示，中国已经开始大规模生产国产研发的浸没式深紫外线（DUV）光刻机，这项技术对先进芯片制造至关重要，标志着北京在降低对外国技术依赖方面迈出了关键一步。
消息人士称，这项生产工作由鲜为人知的中国国有企业上海艾深纳电子科技集团牵头，该公司吸纳了中国顶尖光刻初创企业的团队加入。由于话题敏感，该人士拒绝具名。
这一进展对北京全国半导体自给自足计划来说是一项胜利，该计划是中国国家主席习近平的最高优先事项之一，但不会对荷兰供应商阿斯麦（ASML）构成立即的商业威胁。
DUV 是长期由 ASML（ASML.AS）主导的一项关键芯片制造工具。
科技行业新闻媒体 The Information 周一首次报道了中国在该工具上的进展，称一家未具名的上海国资公司已开始制造这些机器，并计划今年生产约 5 台、2027 年生产约 20 台。路透是首家报道该公司身份的媒体。
消息人士称，艾深纳的 DUV 设备预计还需要进一步测试，距离匹配这家荷兰公司的竞争机型仍相去甚远。
不过，如果西方政府进一步限制外国光刻工具的出口或维修，成功部署这类设备将为中国芯片制造商提供另一种设备来源。
The Information 援引两名知情人士称，中国制造的 DUV 设备预计将于今年交付给包括中芯国际、华虹半导体和存储芯片制造商长鑫存储技术（CXMT）在内的中国领先芯片制造商。
ASML 股价周一下跌逾 8%，该公司没有立即回应置评请求。中芯国际、华虹和长鑫存储也没有回应置评请求。
根据企业记录，艾深纳成立于 2023 年 8 月，注册资本 70 亿元人民币（10 亿美元），由两家国有股东支持——上海电气控股和上海国际信托旗下子公司。
关于这家公司所知甚少。它没有网站，也未公开披露任何业务信息。消息人士称，该公司已吸纳光刻初创企业宇量升的团队，后者去年已开始测试一款 DUV 原型机，以及上海微电子装备（SMEE）的团队。
SMEE 和宇量升——后者是华为支持的设备制造商新凯来（SiCarrier）的关联公司——都深度参与北京的半导体自给自足 प्रयास。
企业和招聘记录显示，艾深纳与宇量升在上海共用一个地址。
艾深纳、其股东、SMEE 和宇量升均未回应置评请求。
美国已禁止中国购买 ASML 最先进的极紫外线（EUV）光刻系统，荷兰的出口管制也限制了中国获取部分先进 DUV 设备。
浸没式 DUV 设备在投影透镜与硅晶圆之间使用一层水，以打印出比传统干式系统更小的电路图案。
它们可用于制造广泛的芯片，也可以通过多重图形化工艺生产更先进的半导体，即对同一层进行反复曝光。
路透社 12 月曾援引消息人士报道称，中国已成功打造出 EUV 系统原型。这种工具对制造全球最先进芯片至关重要，但距离量产仍需数年。
（1 美元=6.7677 元人民币）
Fanny Potkin 新加坡报道；Wen-Yee Lee 台北补充报道；Eduardo Baptista、Miyoung Kim 和 Raju Gopalakrishnan 编辑
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知情人士称，中国已开始量产国产浸没式 DUV 光刻机，这标志着半导体自给自足努力取得进展，但其性能仍远不及 ASML 的同类产品，短期内不会对 ASML 构成商业威胁。
路透引述知情人士称，中国已开始大规模生产国产浸没式深紫外（DUV）光刻机。DUV 是先进芯片制造中的关键设备，此举被视为北京减少对外国技术依赖、推进全国半导体自给自足的重要一步。报道指出，上海爱申博电子科技集团正在主导这项生产工作，该公司由上海电气控股和上海国际信托旗下子公司两家国有股东支持，注册于 2023 年 8 月，注册资本 70 亿元人民币。该公司鲜为人知，没有网站，也未公开披露运营情况。消息人士称，爱申博已吸纳来自光刻创业公司璞璘科技和上海微电子装备（SMEE）的团队；其中，璞璘科技此前已开始测试 DUV 原型，且与华为支持的设备制造商 SiCarrier 有关联。公司记录和招聘记录显示，爱申博与璞璘科技在上海共享地址。报道还提到，《The Information》此前称，一家未具名的上海国资公司已开始制造这类机器，并计划今年生产约 5 台、到 2027 年约 20 台。路透随后首次披露了该公司的身份。消息人士表示，爱申博的 DUV 设备仍需进一步测试，距离匹配荷兰 ASML 的竞争机型还有很大差距。不过，如果西方政府进一步限制外国光刻设备的出口或维护服务，国产 DUV 仍可能为中国芯片制造商提供替代来源。报道还称，预计这些中国制造的 DUV 机器将于今年交付给中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等中国领先芯片企业。文章背景指出，美国已禁止中国购买 ASML 最先进的极紫外（EUV）光刻系统，荷兰出口管制也限制了部分先进 DUV 设备的获取。
China has started mass producing domestically developed immersion DUV lithography machines, a key step in semiconductor self-sufficiency, though the tools are still far behind ASML’s models and pose no immediate commercial threat.
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